螺杆真空泵的优点和结构特点目前，各种真空泵的发展越来越受到真空应用的影响，一般的真空系统不能满足清洁油和耐腐蚀的要求，所以螺杆真空泵市场近年来需求很大，真空产品升级的情况下，有很多有油真空系统已经被无油清洁真空系统所取代。国外几乎每家大型真空公司都生产各种型号的干式真空泵。螺杆真空泵属于非接触式干式泵，是20世纪初出现的一种理想泵，以其泵送转速范围宽、结构简单紧凑、吸腔元件无摩擦、寿命长、能耗低、无油品污染等优点得到了广泛的应用。

干式螺杆真空泵由于其优越的性能，在欧、美、日等行业已成为微电子、半导体、制药、精密加工等行业的真空设备，日本在螺杆压缩机的基础上，很早就研制出多转子型真空泵，并投入市场。几家真空设备公司逐渐开发出定距和变距转子型线，并对转子和机体冷却做了大量的研究。2008年，中国企业也进入了螺杆真空泵的批量生产，在化工、医药等行业得到了很好的应用。

传动轴与主动转子连接，由同步齿轮带动从动转子转动。壳体上设有冷却水道，用于冷却转子和排气口的温度。同步齿轮、轴承用油润滑，轴承、轴承座采用密封件密封，达到无油的效果。干式螺杆真空泵在密封和润滑结构上与无油螺杆压缩机相似。一般真空泵的排气端采用机械密封，进口侧通常采用双唇密封。在传动方式上，目前常见的是电机直接连接，与联轴器和转子连接，很少用皮带或传动链传动。

等螺杆泵由于没有内部压缩过程，排气温度很高，如冷却效果不好，会造成转子和机壳变形，影响泵送效果。冷却外壳是机器的一部分。水冷却是一种常见的方法。冷却水通过壳体体和轴承外部，可以达到冷却壳体，然后冷却转子的目的。螺杆真空泵是一种旋转变容积气体输送泵，螺杆真空泵在使用前有泵，使用压力范围大，抽速大，对气体中不含粉尘和水蒸气敏感，广泛应用于冶金、化工、食品、电子涂料等行业。

螺杆真空泵的发展包括干螺杆泵、水环泵、往复式泵、滑阀泵、旋转叶片泵、罗茨泵和扩散泵等。该系列真空泵是国民经济各行业应用真空过程中必不可少的主泵。近年来，随着中国经济的持续快速发展，与真空泵相关的下游应用行业保持着快速增长的势头，而真空泵行业在真空泵应用领域的共同发展中实现了持续稳定的发展。螺杆真空泵速度大，压力范围宽;转子具有良好的几何对称性，振动小，运行稳定。转子与转子与壳体之间有间隙，无需润滑，摩擦损失小，可大大降低驱动功率，从而达到更高的转速;泵腔内无需油封润滑，可减少油蒸气对真空系统的污染;无压缩。