螺杆真空泵使用时常充入氮气，主要是用氮气吹扫泵，可以延缓腐蚀性气体对泵的腐蚀，从而起到很好的保护作用。

螺杆真空泵为什么要用氮气，我们可以总结出以下几个原因：

1、向螺杆真空泵内通入氮气，在真空泵内壁形成一层薄弱的保护气膜。氮气压力不宜过大或过小。压力过大会影响抽真空效果，增加能耗；太小可能导致没有保护作用。

2、抽腐蚀性气体的泵使用氮气，氮气吹扫泵，延缓腐蚀性气体对泵的腐蚀。

3、真空镀膜过程中使用的一些气体对螺杆真空泵有腐蚀作用，所以选用这种泵。但是壁中的氮气和泵是分开的。

4、多少单位的氮可以用来涂上他们需要的颜色。有些颜色使用乙炔。在实际应用中，大多使用氩气。

5、密闭，稀释工艺气体。减少腐蚀和工艺粘附。

6、氮气在没有一定的辅助条件如温度、压力或催化剂的情况下很难与外界发生反应。因此，在清洗泵系统的过程中，使用氮气吹扫更为安全可靠。

7、氮气的吸附热小，在物体表面的吸附时间短。当氮气吸附在螺杆真空泵的壁面时，很容易被抽走。真空系统清洁中的氮气吹扫正式利用了此功能。在真空镀膜中，真空系统用干燥的氮气吹扫后，氮气分子先被吸附在真空系统的壁上。由于容器壁表面的吸附位点是确定的，在充满氮分子后，水分子等其他分子会减少。真空系统的整个抽气时间因此大大减少。

氮气是一种稳定无害的气体，能很好地保护螺杆真空泵，有效延长使用寿命，减缓腐蚀问题。