螺杆真空泵是利用一对螺杆在泵壳内进行同步高速反转，产生吸气和排气的吸气装置。是油封式真空泵的换代产品。在粉尘较少的气体场合，广泛用于制药、化工、半导体等需要高洁净真空的企业。

两个螺杆经精细动平衡校正，由轴承支撑，安装在泵壳内。螺杆之间有一定的间隙，所以泵在工作时，相互之间没有摩擦，运行平稳，噪音低，工作腔不需要润滑。因此，螺杆真空泵可抽出含有大量水蒸气和少量粉尘的气体，具有真空度高、功耗低、节能、免维护等优点。是油封式真空泵的换代产品。

各种真空泵的发展越来越受到真空应用的影响。一般的真空系统不能满足清洁、无油、耐腐蚀的要求。因此，近年来螺杆真空泵的市场需求量非常大，真空产品也在不断更新换代。因此，大量油基真空系统已被无油清洁真空系统所取代。国外几乎每家大型真空公司都生产各种型号的螺杆真空泵。螺杆真空泵是一种非接触式干泵，是1990年代初出现的一种理想的泵。具有抽速范围广、结构简单紧凑、无摩擦、使用寿命长、能耗低、对抽油室各部位无油污等优点，因此可广泛应用。

由于其优越的性能，螺杆真空泵已成为欧美日等微电子、半导体、医药、精密机械加工等行业常用的真空采集设备。日本在螺杆压缩机的基础上，研制出真空泵用多头转子，很早就投放市场。几家德国真空设备公司也逐渐开发出变桨距和变桨距转子型材，并在转子和机体冷却方面做了大量的研究。

螺杆真空泵具有节能、免维护的优点。是油封/喷射/水环真空泵的更新换代产品，已广泛应用于各大医药化工企业。根据不同的工艺条件，螺杆真空泵的过流部分（即转子、泵体等与气体接触的部分）有防腐涂层，包括镍磷涂层和聚四氟乙烯。