真空泵机组是由不同类型的泵串联而成的机组，抽速相对较大，能更好地适应使用环境。机组的串联方式有很多种，主要是根据以前泵的变化来命名的，其工作原理自然与不同泵的选择有关。要了解真空泵机组的工作原理，就要先了解不同泵的原理。

1.水环真空泵的工作原理

水环真空泵叶片的叶轮偏心安装在圆柱形泵壳内。一定量的水被注入泵中。当叶轮旋转时，水被甩到泵壳上形成水环，水环的内表面与叶轮轮毂相切。由于泵壳与叶轮不同心，右半毂与水环之间的进气空间逐渐扩大，从而形成真空，使气体通过进气管进入泵内的进气空间。然后气体进入左半部，由于毂环之间的容积逐渐压缩，压力增大，于是气体通过排气空间和排气管排到泵外。

2.旋片真空泵的工作原理

旋片真空泵(简称旋片泵)是一种油封机械真空泵。其工作压力范围为101325~1.33倍；10-2(pa)属于低真空泵。可单独使用，也可作为其他高真空泵或真空泵机组的前级泵。它已广泛应用于冶金、机械、军工、电子、化工、轻工、石油和医药等生产和科研部门。

3.罗茨真空泵的工作原理

真空泵机组中的罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的连续旋转，泵送气体从空气入口被吸入转子和泵壳之间的空间v0，然后通过空气出口排出。由于v0空间在吸入后完全关闭，泵室中的气体不会被压缩和膨胀。然而，当转子的顶部翻转排气口的边缘并且v0空间与排气侧连通时，由于排气侧的高气体压力，一些气体被冲回到空间v0中，这突然增加了气体压力。当转子继续旋转时，气体从泵中排出。

水环真空泵、旋片真空泵和罗茨真空泵都是作为真空泵机组前置泵的选择之一。了解了各自的工作原理，我们需要对机组的运行原理有了大致的了解，可以帮助用户更好的使用。