真空机组由罗茨泵为主泵，水环泵为后备泵串联而成。为水环真空单元选择的水环泵比其他真空泵作为后备泵更具优势，因为它不仅克服了使用单个水环泵时的压力差，超过水环泵的极限压力，而且克服了在一定压力下抽速低的缺点，同时罗茨泵可以快速工作，并具有抽速较大的优点。

真空机组适用于泵送大量冷凝蒸汽，特别是当气镇油封机械真空泵去除冷凝蒸汽的能力不足，或者所用溶剂会使泵油变质并影响性能，或者真空系统不起作用时。 如果配备了防爆电机和电器并遵守相应的安全规则，真空机组还可以提取易燃易爆气体。

真空机组中的水环泵的功能主要是创建罗茨泵所需的初步真空。一般而言，单级水环泵的真空度不高，而我国生产的罗茨泵所需的预真空度却相对较高。因此，我们通常不使用单级水环泵作为罗茨泵的后备泵，而是使用压力较低的两级水环泵作为后备泵，这也会降低真空机组的压力。

泵和水环泵的压力为400Pa，可以满足一般的真空要求，但其使用范围会受到一定的限制。如果将两个罗茨泵串联，然后与水环泵组合使用，则可以大大增加设备的压力（可以达到25Pa）。因此，在这种类型的真空机组中，通常可以看到两个罗茨泵串联连接，然后将两级泵用作前泵来构成一个单元。如果需要更高的压力，则可以将三个罗茨泵与水环泵结合使用，其压力可以达到1Pa。

如果三级水环单元仍不能满足压力需求，我们可以将水环泵与机械真空泵并联使用。这种真空机组主要用于需要处理大量水蒸气，时间长和对最终真空有较高要求的真空系统，例如真空干燥。