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2019

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真空泵在电子半导体行业的应用


淄博华中真空设备有限公司主营的真空泵有:螺杆真空泵、罗茨真空泵、水环式真空泵(液环真空泵)、干式真空泵、真空机组等

也许,你在想干式螺杆真空泵厂家会如何演说这一个应用。其实,很简单啊,根据行业进行追溯。首先,我们知道:电子半导体行业主要包括电子技术、半导体、多晶硅/单晶硅、太阳能和光电显示领域。

  干式螺杆真空泵厂家淄博华中真空设备有限公司根据行业追溯后,整理电子半导体行业所需应用主要分为三大类:生产用真空(中高真空);清扫真空(粗真空);工艺真空(粗真空)。不同类型的领域需要不同的真空泵

干式螺杆真空泵应用部分

  生产用真空主要通过高真空使工作空间空气减少,保持工作空间的洁净,主要使用的真空泵类型包括干泵(干式螺杆真空泵、爪式泵)和分子泵及其机组。生产用真空设备在数量上较大,单机功率较小。

  清扫真空主要利用负压与大气压差进行液体或颗粒的清除或输送,此类应用主要采用水环泵和多级离心风机,因为真空度低所以更多的是采用多级离心风机,真空源是其系统的一部分。

  工艺真空主要利用负压吸附进行工件搬运或夹持,螺杆泵、爪式泵等干泵以及水环泵、旋片泵、微油螺杆泵都是工艺真空中常见的真空设备。

  淄博华中真空设备有限公司主营的真空泵有:螺杆真空泵、罗茨真空泵、水环式真空泵(液环真空泵)、干式真空泵、真空机组等

 
 

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