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怎样选择干式真空泵

怎样选择干式真空泵

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为了适应不同的使用要求,干式真空泵被分为许多不同类型的设备。对此,为了适应不同的使用需求,下面将介绍如何正确选择它们。

不同类型的干式真空泵,我们总是渴望能够减小它们的物理尺寸。然而,这与真空泵的抽速相矛盾,干式真空泵的抽速与容积成正比。较小的物理尺寸意味着体积也很小。当然,影响干式真空泵抽速的另一个重要因素是速度。为了使小型真空泵的吸气速度与大型真空泵的吸气速度相匹配,需要提高速度。改变干式真空泵转速的方法有两种,一种是改变电源的频率,即使用变频器;另一种是改变变速箱的传动比。其中,使用变频器的优点是可以提供闭环控制,但在重载时容易造成转矩损失。改变变速箱的传动比是一种非常经济的方法,当然只能提供单速,无法控制。

干式真空泵

意外的干式真空泵错误会降低机器效率,影响晶圆生产和交付,甚至导致晶圆报废和其他零件的加工损坏。由于螺杆设计采用单级设计,与滚珠槽、爪形和组合等多级泵相比,使用的零件数量可减少60%。这对于干式真空泵稳定性和未来维护成本来说是一个很大的优势。

一般来说,如果用户认为功耗对他来说很重要,那么选择内压螺杆干式真空泵可能是一个不错的选择,而氮含量对他来说并不重要。但总的来说,对废气处理的要求越来越严格,未来减少氮气的使用量就显得尤为重要。如果您想在不使用简单的库存控制泵改变它们的情况下处理各种半导体工艺,外部压缩螺钉干式真空泵较好的选择。

结合上述所有设计类型的优点是理想的,具体取决于具体情况,但目前还不可能。因此,用户需要了解干式真空泵的设计类型,然后根据自己的工艺特点了解不同类型的泵设计的影响。这种选择可以降低干式真空泵使用成本,并获得更长的使用寿命和稳定的真空系统。