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简单了解一下干式真空泵

简单了解一下干式真空泵

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干式真空泵(也称干式机械泵)是指泵在常压下可启动抽气,可将抽吸的气体直接排放到大气中。泵腔内无油或其他工作介质,压力等于或接近油封真空泵的机械真空泵。

截至2013年,真空行业使用的机械真空泵大多采用油、水或其他聚合物等流体作为泵的工作介质,在泵内具有冷却、密封、润滑等多重功能。随着科学技术的发展和真空应用领域的扩大,原有的机械真空泵及其排气系统有两个迫切需要解决的问题:一是泵的工作介质倒流,污染被抽容器,而这种回流在很多情况下,会影响产品的质量和数量,增加设备的维护成本。其次,真空泵中的介质由于某些过程中的反应物而严重变质,使泵无法正常工作。

干式真空泵

对于普通的无油真空系统,虽然可以使用油封真空泵和冷阱或吸附阱等附件来防止回流,但不能彻底解决问题,使系统复杂化。使用合适类型的干式真空泵可以达到预期的效果。

干式真空泵应用广泛,主要表现在以下几个方面:

1、低压化学气相沉积多晶硅制备工艺;

2半导体蚀刻工艺。在这些生产过程中经常使用干式真空泵或产生腐蚀性气体和磨料颗粒;

3、对于半导体工艺以外的一些会产生颗粒的工艺,预计颗粒不会混入干式真空泵的泵油中,预计颗粒会从泵中排出。某些类型的干式机械真空泵可以满足要求;

4、化工、医药、食品等行业的蒸馏、干燥、脱气、包装过程中,应防止有机溶剂造成污染,应使用干式真空泵

5、采用干式真空泵作为一般无油洁净真空系统的前级泵,防止油污。