干式真空泵选用渠道

1、干式真空泵的工作压力应满足真空设备的极限真空和工作压力要求。例如，真空涂层需要1×10-5mmHg的真空，并且所选干式真空泵的真空必须至少为5×10-6mmHg。干式真空泵的真空通常选择为比真空设备的真空高一半数量级。

　　2、正确选择真空泵的工作点。每个泵都有一定的工作压力范围，例如，扩散泵为10-3~10-7mmHg。在如此宽的压力范围内，泵的泵送速度随压力而变化，其稳定的工作压力范围为5×10。 -4〜5×10-6mmHg。因此，泵的工作点应在此范围内选择，不应在10-8mmHg下长时间工作。另一个例子是钛升华泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作压力应小于1×10-5mmHg。
      3、真空泵应能够在其工作压力下去除真空设备过程中产生的所有气体。

　　4、正确组合了真空泵。由于真空泵具有选择性泵送，有时泵不能满足泵送要求，并且需要将多个泵组合以相互补充以满足泵送要求。例如，钛升华泵对氢气具有高抽速，但不能泵送，并且三极溅射离子泵（或双极不对称阴极溅射离子泵）对氩气具有一定的抽速。组合时，真空装置将具有更好的真空。另外，有些真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；一些真空泵出口压力低于大气压力，需要前级泵，因此需要将泵组合在一起。