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干式真空泵选用渠道

干式真空泵选用渠道

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1、干式真空泵的工作压力应满足真空设备的极限真空和工作压力要求。例如,真空涂层需要1×10-5mmHg的真空,并且所选干式真空泵的真空必须至少为5×10-6mmHg。干式真空泵的真空通常选择为比真空设备的真空高一半数量级。
  2、正确选择真空泵的工作点。每个泵都有一定的工作压力范围,例如,扩散泵为10-3~10-7mmHg。在如此宽的压力范围内,泵的泵送速度随压力而变化,其稳定的工作压力范围为5×10。 -4〜5×10-6mmHg。因此,泵的工作点应在此范围内选择,不应在10-8mmHg下长时间工作。另一个例子是钛升华泵可以在10-2mmHg下工作,但其工作压力应小于1×10-5mmHg。
      3、真空泵应能够在其工作压力下去除真空设备过程中产生的所有气体。
  4、正确组合了真空泵。由于真空泵具有选择性泵送,有时泵不能满足泵送要求,并且需要将多个泵组合以相互补充以满足泵送要求。例如,钛升华泵对氢气具有高抽速,但不能泵送,并且三极溅射离子泵(或双极不对称阴极溅射离子泵)对氩气具有一定的抽速。组合时,真空装置将具有更好的真空。另外,有些真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;一些真空泵出口压力低于大气压力,需要前级泵,因此需要将泵组合在一起。
 

 

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