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气冷罗茨泵:应用领域和使用场景

气冷罗茨泵:应用领域和使用场景

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气冷罗茨泵意味着该泵可以在大气压下开始泵送,并且可以将泵送的气体直接排放到大气中。 泵腔内没有油或其他介质,并且泵的极限压力与油密封的真空泵处于同一水平。 或靠近机械真空泵。


  在气冷罗茨泵行业中,当前大多数真空泵都使用油,水和其他聚合物作为泵介质。 它们的主要功能是润滑,冷却和密封。 但是,真空泵和抽运系统有以下问题要解决:1.泵的工作介质污染了抽运的容器。 最直接的后果是它将影响产品质量并增加泵的维护成本;  2.在此过程中,反应材料会使泵中的介质变质,从而导致泵体无法正常工作。 这是当前面临的两个主要问题。


  气冷罗茨泵的使用可以取得很好的效果,那么气冷罗茨泵的应用领域是什么? 以下将重点介绍其应用范围:


  (1)气冷罗茨泵适用于化学,制药和食品行业的蒸馏,干燥,脱气,包装等,以防止有机溶剂污染;


  (2)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺;


  (3)半导体刻蚀工艺,这些生产工艺经常使用腐蚀性气体和磨料颗粒;


  (4)除半导体工艺外,某些还会产生颗粒的工艺。 在这些过程中,颗粒不会混入油泵中,而是从油泵中排出,这可以通过干式真空泵解决。


  (5)用作常规无油清洁真空系统的前泵,以防止油污染。


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